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光腔衰蕩光譜方法(CRDS, Cavity Ring-Down Spectroscopy)是一種基于高精細(xì)度諧振腔的高靈敏度探測(cè)技術(shù),主要用于精確測(cè)量各種反射率大于99%的超高反射率反射鏡的反射率,測(cè)量精度可達(dá)百萬(wàn)分之一量級(jí)!
光腔衰蕩光譜方法通過(guò)對(duì)指數(shù)型的腔內(nèi)衰蕩信號(hào)的檢測(cè),擺脫了激光能量輸出的起伏所引起的誤差。由兩片99.99% 反射率組成的光腔對(duì)損耗的測(cè)量精度可達(dá)ppm量級(jí)。
應(yīng)用領(lǐng)域:
高反射鍍膜層損耗的精密測(cè)量
正入射反射率R>>99%的平面或凹面光學(xué)元件的損耗測(cè)量
精度dR/R<2ppm @ R>99.5%
檢測(cè)用激光波長(zhǎng)可選(如≥355nm…532nm…633nm…1064nm…≤1319nm)
測(cè)量原理:
脈沖光或快速開(kāi)關(guān)的連續(xù)光耦合進(jìn)諧振腔
待測(cè)膜層在每次往返光程中經(jīng)反射產(chǎn)生損耗
時(shí)間相關(guān)的輸出信號(hào)的精確測(cè)量得到衰蕩數(shù)據(jù)
脈沖光往返時(shí)間已知,根據(jù)衰蕩的時(shí)間特點(diǎn),得到反射率
技術(shù)指標(biāo):
測(cè)量反射率: R>>99%
精度: dR/R < 2ppm @ R>99.5%
樣品/基底要求*: ø1”Or 0.5”, 厚度~6mm
基底透明,后表面平面拋光
*0o正入射測(cè)量,其他要求可訂制。
供電電源:
激光器 100~240VAC, 50~60Hz
探測(cè)器 +/-9 VDC
接口: USB 2.0
含數(shù)據(jù)采集, A-D轉(zhuǎn)換,數(shù)據(jù)處理等模塊。軟件包括反射率分析、生產(chǎn)數(shù)據(jù)錄入及處理等。