空間光調(diào)制器的定標(biāo)通常利用干涉場的條紋移動來量化驅(qū)動電壓和位相調(diào)制能力之間的關(guān)系,然而干涉需要多光路實現(xiàn)記錄。多光路干涉系統(tǒng)抗外界環(huán)境干擾的能力較差,易造成較大的測量誤差,低的定標(biāo)精度制約了空間光調(diào)制器在gao端應(yīng)用場景的功能發(fā)揮。規(guī)避多光路干涉的另一個方案是共光路的自干涉結(jié)構(gòu),通過加載多個波面實現(xiàn)在探測面上的自干涉記錄,與此同時保留了傳統(tǒng)定標(biāo)中對條紋圖的處理算法。但空間光調(diào)制器作為一類衍射元件,天然存在的零級背景光會降低自干涉圖的信噪比,依然會降低空間光調(diào)制器的定標(biāo)精度。
針對以上問題,課題組巧妙地將零級背景光轉(zhuǎn)化成信號光使用,這一新理念不僅保留了標(biāo)準(zhǔn)條紋法的優(yōu)點,同時又實現(xiàn)了自干涉單光路結(jié)構(gòu)的光學(xué)功能,評審專家認(rèn)為該方法簡單易實施。定標(biāo)方案一方面利用了大小圓的衍射斑差異,另一方面規(guī)避了自干涉光路低信噪比的缺點。課題組基于該方法對公司提供的位相型空間光調(diào)制器實施了標(biāo)定操作,同時和其它常規(guī)的標(biāo)定方法進(jìn)行了多輪對比驗證,結(jié)果表明,該空間光調(diào)制器定標(biāo)方案相比于現(xiàn)有方法更加簡潔有效,并且精度更高。此外,該理念可以推廣應(yīng)用于其他測量方案,為光學(xué)測量領(lǐng)域拓展新思路開辟新方法。